設(shè)備主機(jī)

外形尺寸

900mm（長）×550mm(寬)×730mm(高)

重量

30KG

整機(jī)調(diào)節(jié)

整機(jī)水平測試/調(diào)節(jié)

電源

電壓

100～240VAC

功率

150W

頻率

50/60HZ

空間

平臺尺寸

12in

最大試樣

12in×15mm

樣品臺調(diào)節(jié)

自動(dòng)3D移動(dòng)平臺

行程160mm，精度0.1mm
360°無極旋轉(zhuǎn)
旋轉(zhuǎn)精度，0.01°

攝像系統(tǒng)

最大圖像

5000（H）× 4000（V）

最高幀率

200fps（可升級更高幀數(shù)）

傳感器

SONY 1/1.8"

光譜

黑白/彩色

ROI

自定義

顯示線寬

自定義

曝光時(shí)間

自定義

電源

5 VDC USB 接口

傳輸

USB3 Vision

顯微鏡頭

焦距

200mm±5mm（變焦調(diào)節(jié)）

倍率

10倍

視角調(diào)節(jié)

±10°

分辨率標(biāo)度

4～14um

采集系統(tǒng)調(diào)節(jié)

俯視/仰視/平視

光源

類型

單波長工業(yè)LED（冷光）

波長

470nm

光場

φ50mm

光點(diǎn)

96粒密集式

壽命

50000Hour

注射系統(tǒng)

滴液方式

精密微量注射

控制方式

軟件數(shù)字控制

滴液精度

0.01μl

注射器

高精密氣密性注射器

接液方式

精密電機(jī)控制

接液高度

智能判定

容量

100μl/500μl/1000μl(標(biāo)配500μl)

針頭

0.51mm全不銹鋼超疏水針頭(標(biāo)配)

速度

1μL/min ～2000μL/min

軟件

接觸角范圍

0～180°

分辨率

0.01°

全自動(dòng)測量

全自動(dòng)一鍵測量功能
（可編程測試點(diǎn)位，多點(diǎn)自動(dòng)測量）

最大數(shù)據(jù)量

一鍵分析12in晶圓>100個(gè)數(shù)值

形態(tài)譜圖

2D形態(tài)數(shù)據(jù)譜圖

接觸角測量方式

全自動(dòng)、半自動(dòng)、手動(dòng)

分析方式

懸滴法、停滴法（2/3態(tài)）、氣泡捕獲法、座滴法、座針法、插板法

分析方法

靜態(tài)分析、自動(dòng)增液縮液動(dòng)態(tài)分析、潤濕動(dòng)態(tài)分析、實(shí)時(shí)分析、雙邊分析、前進(jìn)后退角分析

測試方法

圓法、橢圓/斜橢圓法、微分圓/微分橢圓法、Young-lapalace、寬高法、切線法、區(qū)間法

表/界面張力測試

測試范圍

0～3000mN/m

分辨率

0.01 mN/m

張力測量方式

全自動(dòng)

分析方式

氣泡捕獲法、懸滴法、實(shí)時(shí)譜圖

表面自由能

測試方法

Zisman、OWRK、WU、WU 2、Fowkes、Antonow、Berthelot、EOS、粘附功、浸濕功、鋪展系數(shù)

數(shù)據(jù)處理

輸出方式

自動(dòng)生成，可導(dǎo)出/打印EXCEL、Word、譜圖等多種報(bào)告格式